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产品中心

氢氟酸

项目 单位 高级电子级 试剂级
UP级规格 EL级规格 AR级规格
含量 % 49.0~50.0 49.0~50.0 ≥40.0
外观 - 澄清无色 澄清无色 -
灼烧残渣(以硫酸盐计) ppm - ≤5 ≤20
颗粒(≥0.5um) 个/ml ≤25 - -
颗粒(≥0.3um) 个/ml ≤150 - -
颗粒(≥0.2um) 个/ml ≤300 - -
颗粒(≥1.0um) 个/ml - ≤25 -
氟硅酸H2SiF6 ppm ≤100 ≤200 ≤400
氯化物(Cl) ppm ≤5000 ≤5000 ≤10
硝酸盐(NO3 ) ppm ≤3000 ≤3000 -
磷酸盐(PO4 ) ppm ≤1000 ≤1000 ≤2
硫酸盐和亚硫酸盐(SO4) ppm ≤5000 ≤5000 ≤20
铝(Al) ppb ≤10 ≤50 -
锑(Sb) ppb ≤15 ≤30 -
砷(As) ppb ≤15 ≤30 -
钡(Ba) ppb ≤10 - -
铍(Be) ppb ≤5 - -
铋(Bi) ppb ≤5 - -
硼(B) ppb ≤10 ≤50 -
镉(Cd) ppb ≤10 - -
钙(Ca) ppb ≤10 ≤300 -
铬(Cr) ppb ≤10 ≤10 -
钴(Co) ppb - - -
铜(Cu) ppb ≤10 ≤50 -
镓(Ga) ppb ≤10 - -
锗(Ge) ppb ≤10 - -
金(Au) ppb ≤10 - -
铁(Fe) ppb ≤10 ≤200 ≤1000
铅(Pb) ppb ≤10 ≤100 ≤5000
锂(Li) ppb ≤5 - -
镁(Mg) ppb ≤10 ≤200 -
锰(Mn) ppb ≤10 ≤200 -
钼(Mo) ppb ≤10 - -
镍(Ni) ppb ≤10 ≤100 -
铌(Nb) ppb - - -
钾(K) ppb ≤10 ≤300 -
银(Ag) ppb ≤5 - -
钠(Na) ppb ≤10 ≤300 -
锶(Sr) ppb ≤10 - -
钽(Ta) ppb ≤10 - -
铊(Tl) ppb ≤10 - -
钛(Ti) ppb ≤10 ≤300 -
锡(Sn) ppb ≤10 ≤300 -
钒(V) ppb ≤10 ---- -
锌(Zn) ppb ≤10 ≤300 -

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